5月24日，*條件保障與財(cái)務(wù)局組織專家對(duì)*寧波材料技術(shù)與工程研究所承擔(dān)的“面向半導(dǎo)體薄膜超高速、低溫外延的中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)”和“微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置”兩個(gè)院科研裝備項(xiàng)目進(jìn)行了技術(shù)驗(yàn)收和綜合驗(yàn)收。
技術(shù)驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
現(xiàn)場(chǎng)查看研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況
現(xiàn)場(chǎng)查看研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況
兩個(gè)項(xiàng)目的技術(shù)驗(yàn)收會(huì)于5月24日上午舉行，條件保障與財(cái)務(wù)局科技條件處工程師張紅松首先介紹了現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的具體要求，并宣布了專家組名單。技術(shù)測(cè)試專家組由6位專家組成，中科院半導(dǎo)體所謝亮研究員和中科院沈陽(yáng)金屬所張海峰研究員分別擔(dān)任兩個(gè)項(xiàng)目技術(shù)驗(yàn)收專家組組長(zhǎng)。項(xiàng)目的技術(shù)測(cè)試大綱經(jīng)專家組審議通過(guò)后，專家組分別在設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)按照測(cè)試大綱逐項(xiàng)進(jìn)行測(cè)試，將測(cè)試結(jié)果與項(xiàng)目任務(wù)書(shū)比對(duì)后，專家組一致認(rèn)為兩套研制設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到或優(yōu)于實(shí)施方案的要求，同意提交綜合驗(yàn)收專家組驗(yàn)收。
項(xiàng)目的總體驗(yàn)收于5月24日下午舉行，張紅松介紹了總體驗(yàn)收要求并宣布了專家組名單。專家組由8位專家組成，包括1位裝備研制項(xiàng)目專家、6位技術(shù)專家，1位財(cái)務(wù)專家，組長(zhǎng)由中科院微電子所夏洋研究員擔(dān)任。專家組分別聽(tīng)取了兩個(gè)項(xiàng)目工作匯報(bào)、使用報(bào)告、測(cè)試報(bào)告和財(cái)務(wù)報(bào)告。
“面向半導(dǎo)體薄膜超高速、低溫外延的中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)”項(xiàng)目研制了一套中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了硅材料的超高速、低溫外延生長(zhǎng)；并且通過(guò)在線發(fā)射光譜和激光吸收光譜的實(shí)時(shí)檢測(cè)分析系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)中壓等離子體沉積過(guò)程的有效控制。利用該系統(tǒng)，項(xiàng)目組研究了氣體組分、沉積壓力、氫氣濃度等工藝參數(shù)與沉積薄膜性能之間的影響規(guī)律，為碳化硅、石墨烯等薄膜材料的低溫、快速生長(zhǎng)提供了一個(gè)研究開(kāi)發(fā)平臺(tái)。
“微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置”項(xiàng)目研制出了一套微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置，研究了熔體溫度、噴嘴直徑、回轉(zhuǎn)圓盤(pán)轉(zhuǎn)速等工藝條件對(duì)粉末粒徑、非晶度和氧含量的影響規(guī)律，開(kāi)發(fā)了一套新型微細(xì)金屬粉末制備的新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了平均粒徑在10μm左右的高質(zhì)量非晶粉末的制備。基于此裝備，項(xiàng)目組開(kāi)展了微細(xì)非晶合金粉末的吸波性能研究，為采用新型非晶軟磁合金材料、設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)具有寬頻帶、強(qiáng)屏蔽效能的輕薄型磁屏蔽和吸波材料奠定了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
專家組現(xiàn)場(chǎng)查看了研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況，審查了相關(guān)文件檔案和項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)使用情況，經(jīng)討論，專家組一致認(rèn)為，兩個(gè)項(xiàng)目均完成了實(shí)施方案中規(guī)定的研究?jī)?nèi)容，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到要求，項(xiàng)目文件檔案齊全，經(jīng)費(fèi)使用基本合理，同意項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。
張紅松對(duì)寧波材料所兩個(gè)項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收表示祝賀，并在后的總結(jié)中提出希望，希望項(xiàng)目組能夠充分發(fā)揮研制裝備的價(jià)值，進(jìn)一步研究開(kāi)發(fā)及成果轉(zhuǎn)化，發(fā)揮好中科院科研裝備研制項(xiàng)目的效能。
(原文標(biāo)題：寧波材料所兩個(gè)院科研裝備研制項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收)