質(zhì)量流量控制器是一種精確的測量和控制儀器，主要用于對氣體或液體的質(zhì)量流量進行精密測量與控制。它由一系列精密的部件組成，主要包括以下幾個部分：流量傳感器：這是質(zhì)量流量控制器的核心部件，用于精確測量流體的流量。流量傳感器通常采用熱式質(zhì)量流量計，其原理是根據(jù)流體的質(zhì)量流量與加熱元件的熱耗散之間的比例來測量流量。
流量調(diào)節(jié)閥：質(zhì)量流量控制器通過調(diào)節(jié)閥來控制流體的流量。調(diào)節(jié)閥通常采用電動或氣動方式進行驅(qū)動，可以根據(jù)控制信號或預設程序來調(diào)節(jié)閥門的開度和流量。
放大控制電路：質(zhì)量流量控制器的放大控制電路將流量傳感器的信號進行放大和調(diào)節(jié)，以便更好地控制流量。它通常包括放大器、濾波器、運算放大器等元件，以實現(xiàn)信號的放大、濾波和比較等功能。
分流器控制通道：分流器控制通道用于將流體分成兩個或更多的分支流，以實現(xiàn)多個流量的同時控制。它通常由分流器、閥門、管道等組成，可以根據(jù)實際需要配置成不同的分流模式。
顯示和控制系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器通常配備有數(shù)字顯示或模擬指示器，用于實時顯示流體的流量和其它參數(shù)。同時，它還具有各種控制功能，如自動控制、手動控制、報警提示等。
此外，質(zhì)量流量控制器還可能包含其他部件，如壓力傳感器、溫度傳感器等，以實現(xiàn)更精確的測量和控制。這些部件協(xié)同工作，共同構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器這一精密儀器。