硅片甩干機有哪些特征

發(fā)布時間：2024-04-07

1、無刷電機驅(qū)動。
2、氮氣溫度控制。
3、轉(zhuǎn)軸氮氣密封。
4、可提用戶特殊要求配置。
5、去離子水電阻率監(jiān)控功能。
6、故障診斷、顯示、報警功能。
7、硅片甩干機具有鎖蓋防護功能。
8、腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學(xué)拋光處理。
9、彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單。
10、硅片甩干機主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。