?光學干涉儀是一種基于光學原理的、利用干涉現(xiàn)象來測量形狀和尺寸的高精度儀器。它的應用領域非常廣泛，包括機械加工、航空制造、電子設備等領域。
1.光路結構
光學干涉儀通常由光源、分束器、反射鏡或透鏡組成。經(jīng)過無數(shù)次反射和折射后，兩束相互垂直的平行光線在被重新合并之前會發(fā)生相位差，并通過檢測器判斷偏移程度。
2.常見類型
常見的光學干涉儀有：fizeau干涉儀，michelson干涉儀和mach-zehnder干涉。fizeau干涉法可用于替代顯微鏡作為表面形貌檢測手段；michelson干涉法可以被用作雙臂懸掛式gravitational-wave探測器中；mach-zehnder系統(tǒng)可以精確地測試材料折射率及其變化率。
3.應用場景
《車間實踐》（workshoppractice）音速噴管版型制造：
該例展示了如何使用michelson/fabry-pérot氣膜干涉儀驗證器的光學測量特點，以便在制造高度精確的噴嘴版本時得到實驗室質量控制。
《超聲傳感最佳化》（ultrasonicssensingoptimization）：
該文闡述了如何通過模擬和實驗研究加速fizeau干涉儀中響應距離與孔徑之間關系。
4.技術趨勢
隨著科技不斷發(fā)展，先進的數(shù)字信號處理技術已經(jīng)被廣泛應用于光學干涉儀中。這些新技術可以大大提高檢測靈敏度和精確度，并且可以在更高級別上進行數(shù)字分析。
5.結論
作為一種非常重要、普遍使用的光學工具，光學干涉儀將持續(xù)受到廣泛關注和發(fā)展。未來，在人工智能及物聯(lián)網(wǎng)等領域迅速發(fā)展下，在設備穩(wěn)定性、數(shù)據(jù)可靠性及準確度方面有所改善是十分必要且值得期待的趨勢。