x射線熒光光譜法是元素分析的主要手段之一，在元素分析中具有制樣簡(jiǎn)單、無(wú)損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時(shí)分析等優(yōu)點(diǎn)。x射線熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場(chǎng)上使用比較多的兩種型號(hào)是能量色散型和波長(zhǎng)色散型的x射線熒光光譜儀。但這種傳統(tǒng)的儀器有時(shí)候靈敏度不夠高，無(wú)法滿足微量或痕量應(yīng)用領(lǐng)域的檢測(cè)需求，因此這制約了它的發(fā)展。
近年來(lái)，x射線熒光光譜技術(shù)飛躍發(fā)展，在多項(xiàng)核心技術(shù)取得突破，一種高靈敏度的x射線熒光光譜儀應(yīng)運(yùn)而生，它也可以稱(chēng)為單波長(zhǎng)激發(fā)-能量色散x射線熒光光譜儀，采用微焦斑x射線管，依靠全聚焦型雙曲面彎晶將x射線管出射譜中靶材高強(qiáng)特征射線單色化取出并聚焦到被測(cè)樣品點(diǎn)，由于單色化入射，避免了由于x射線管出射譜中連續(xù)軔致輻射造成的背景干擾，從而大幅提升被測(cè)元素?zé)晒馍渚€的信噪比，同時(shí)采用高分辨率硅漂移探測(cè)器窗口接近樣品測(cè)試點(diǎn)，取得樣品中元素?zé)晒馍渚€的極大立體角，進(jìn)一步提升元素?zé)晒馊肷涞教綔y(cè)器的射線強(qiáng)度。
高靈敏度x射線熒光光譜儀原理：
x射線光管出射譜由靶材的特征x射線分立譜以及軔致輻射連續(xù)譜組成，這些射線入射到樣品中，激發(fā)樣品中元素特征x射線的同時(shí)，又會(huì)產(chǎn)生入射譜的康普頓散射和瑞利散射，探測(cè)器同樣會(huì)接收到這些散射背景，從而造成了連續(xù)背景信號(hào)的干擾，降低了元素檢測(cè)的峰背比，使樣品中微量或痕量元素難以被檢出。
x射線管出射譜由連續(xù)譜線和特征譜線組成，全聚焦型雙曲面彎晶僅衍射x射線光管出射譜中的高強(qiáng)度特征x射線，從而入射到樣品的x射線具有很好的單色性，因此從樣品出射的x射線除了樣品中的元素被激發(fā)產(chǎn)生的熒光x射線(線光譜)和單色入射線的瑞利散射和康普頓散射以外，不存在連續(xù)散射背景，從而保證待測(cè)元素特征線具有極低的背景干擾，被激發(fā)元素的熒光x射線用sdd(硅漂移探測(cè)器)檢測(cè)，得到高分辨和高靈敏度的測(cè)試結(jié)果。
高靈敏度x射線熒光光譜儀具備x射線熒光光譜儀無(wú)損、快速、多元素同時(shí)分析等特點(diǎn)，同時(shí)又具備高靈敏度的特點(diǎn)，其將x射線熒光的應(yīng)用領(lǐng)域不斷延伸，除了傳統(tǒng)x射線應(yīng)用領(lǐng)域外，新的領(lǐng)域成為高靈敏度x射線熒光光譜儀的市場(chǎng)，具有廣闊的市場(chǎng)前景。