微位移測量系統(tǒng)作為一種非接觸式的，能夠測量微小相對位移、微振動(dòng)和微小尺寸的儀器，具有溫度穩(wěn)定性好、測量范圍大、測量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡單等一系列優(yōu)點(diǎn)，它的相對變化量大，能在特殊環(huán)境下工作，如在強(qiáng)光照射下、在核輻射條件、過載沖擊震動(dòng)環(huán)境等。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。它與常規(guī)的光電傳感器、電阻式、電感式傳感器相比有如下優(yōu)點(diǎn)：
1．輸入能量極低，需要非常小的輸入。由于帶電極板間靜電引力很小，約到10-5n量級，因此它特別適用于解決輸入能量低的測量問題，如微小位移和微小壓力變化的精密測量。
2．可以獲得較大的相對變化量。如對金屬應(yīng)變傳感器來說，由于應(yīng)變極限的限制，rr?一般低于1%，數(shù)值很小。而對于電容式傳感器，電容相對變化量cc?只受到線性和其他實(shí)際條件的限制，若采用高線性電路時(shí)，其cc?可達(dá)到或更大，這就可大大提高傳感器的輸出信號。
3．溫度穩(wěn)定性好。微位移測量系統(tǒng)的電容值一般與電極材料無關(guān)，取決于幾何尺寸，只從強(qiáng)度、溫度系數(shù)、抗蠕變能力等機(jī)械特性考慮，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，因其本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。