p77.d6壓電式移相器是專(zhuān)為光學(xué)檢測(cè)移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，中心通孔直徑為65mm，正立、側(cè)臥、倒置使用的承載能力分別可達(dá)5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅(qū)式結(jié)構(gòu)，保證了出力性能，同時(shí)內(nèi)部?jī)?yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，對(duì)壓電陶瓷也起到了的保護(hù)作用，確保了使用壽命。
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 一維z向運(yùn)動(dòng)
• 行程可達(dá)17μm
•承載可達(dá)5kg
•通孔直徑：65mm
• 可正立/倒置/側(cè)臥使用
典型應(yīng)用
• 顯微成像
• 表面檢測(cè)
•干涉/測(cè)量
• 精密定位
•移相器
• 光學(xué)捕獲
高精度、大承載
p77.d6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，利用有限元分析優(yōu)化，使其具有超高分辨率。同時(shí)閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對(duì)位移實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反饋，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的重復(fù)定位精度及線(xiàn)性度。
中心通孔直徑65mm，非常適于大口徑移相干涉應(yīng)用。
電壓與位移曲線(xiàn)
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例
芯明天p77系列壓電移相器以其大通孔、納米級(jí)分辨率、高精度等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測(cè)量精度。