日本小坂kosaka 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)et200a產(chǎn)品詳細(xì)信息
日本小坂kosaka 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)et200a概述
et200a基于windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半 導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、mems、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。et200a 能可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 et200a 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色ccd 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
日本小坂kosaka 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)et200a特點(diǎn)
★et200a臺(tái)階儀適用于二次元表面納米等級(jí)段差臺(tái)階測(cè)定、粗糙度測(cè)定。
★et200a臺(tái)階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測(cè)量過程及微小的測(cè)定力可對(duì)應(yīng)軟質(zhì)樣品表面。
★該型號(hào)臺(tái)階儀采用直動(dòng)式檢出器，重現(xiàn)性高。
日本小坂kosaka 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)et200a產(chǎn)品參數(shù)
大試片尺寸 φ200mm×高度50mm
重現(xiàn)性 1σ ≤ 1nm
測(cè)定范圍 z:600um x:100mm
分解能 z:0.1nm x:0.1um
測(cè)定力 10un~500un (1mg-50mg)
載物臺(tái) φ160mm, 手動(dòng)360度旋轉(zhuǎn)