真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的*選擇。為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過程要求的性能，將cdg100d真空計(jì)的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。inficon電容真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復(fù)快，預(yù)熱時(shí)間短和超長(zhǎng)的使用壽命。inficon cdg是高質(zhì)量，成本效益好的壓強(qiáng)傳感器，用于半導(dǎo)體，等離子和各項(xiàng)要求高的真空應(yīng)用中。
根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管又稱為電容式壓力傳感器和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)
科銳詩汀電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長(zhǎng)使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術(shù)）保護(hù)真空計(jì)防止過程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了emc兼容性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。cdg025d真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
電容膜片真空計(jì)優(yōu)越性：的滿量程穩(wěn)定性 – 與氣體類型無關(guān)；抗腐蝕的氧化鋁傳感器；超小型, 同類產(chǎn)品中尺寸zui小；易集成, 任何方位安裝；數(shù)字訊號(hào)處理；無需維護(hù)。電容膜片真空計(jì)用途：真空鍍膜；真空監(jiān)測(cè)；消毒滅菌；食品和包裝；真空爐, 拉晶器；分析；化學(xué)真空過程。