日本ULVAC CFB-2000Z脂潤滑分子泵技術資料

發(fā)布時間:2024-07-26
一、產(chǎn)品簡介
cfb-z系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環(huán)境,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。
二、產(chǎn)品特點
由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。
三、主要性能指標
型號
cfb-2000z
進氣口法蘭

lf250
cf250
排氣口法蘭

kf50
抽氣速率
l/s
2000
壓縮比n2/h2

1×109/1×104
極限壓強
pa
5×10-7
8×10-8
電機轉(zhuǎn)速
rpm
24000
振動值
μm
≤0.1
啟動時間
min
<6
使用軸承

脂潤滑陶瓷軸承
前極泵
l/s
15
冷卻方式

水冷(風冷)
冷卻水溫度

≤25
環(huán)境溫度

<40
冷卻水流量
l/min
1
安裝方向

任意角度
重量
kg
~30
三、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線
cfb系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
cfb-2000z安裝尺寸
型號規(guī)格
cfb-2000z
高真空法蘭
lf250
cf250
d1
ф290
ф305
d2
ф295
ф295
d3
274
274
l1
114
114
h1
317
317
h2
262
262
h3
97.5
97.5
h4
282
282
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