水質達到美國astm標準，電子部超純水水質標準（18mω/cm，15mω/cm，2兆歐/厘米和0.5兆歐四級) 。
◆原水→原水箱→原水泵→砂過濾器→碳過濾器→軟化過濾器→高壓泵→保安過濾器→反滲透裝置→中間水箱→edi增壓泵→edi裝置→精密過濾器→用水點
◆源水→源水儲水箱→增壓泵→機械過濾器→活性炭過濾罐→阻垢系統(tǒng)→主機泵→不銹鋼保安過濾器→反滲透設備－中間水箱－混床增壓泵－陰陽離子交換混床－純化水箱－核級混床增壓泵→精制核能級混床→紫外線殺菌器→0.22u精密過濾器－用水點
◆原水箱→原水增壓泵→多介質過濾器→鐵錳過濾器→軟化水設備→反滲透精密過濾器→一級主機泵→一級反滲透凈化水裝置→二級主機泵→二級反滲透凈化水裝置→純水箱－edi增壓泵→edi高純水裝置→紫外線殺菌器－0.22或0.5 μ m精密過濾器(或稱保安過濾器)－用水點
超純水設備/edi高純水系統(tǒng)應用范圍
◆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
◆超純材料和超純化學試劑；
◆實驗室和中試車間
◆汽車、家電表面拋光處理；
◆其他高科技精微產品。
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