改性納米粒子在等離子蝕刻機增加了復合增加復合膜：
聚酰亞胺膜當作匝間絕緣和地面絕緣的主要絕緣層材料，有著良好的介電性能，廣泛運用于變頻調(diào)速牽引電機中。研究表明，等離子蝕刻機放電產(chǎn)生的高能顆粒和熱效應(yīng)會破壞有機高聚物構(gòu)造，促進聚酰亞胺降解，這也是變頻電機絕緣失效的主要原因。
在納米電介質(zhì)領(lǐng)域，將納米顆粒當作填料添加到高聚物中會給絕緣層材料帶來特殊的電力性能，如高相對介電常數(shù)、低損耗、耐電暈等，一般認為界面是影響材料絕緣性能的關(guān)鍵。然而，由于納米顆粒的大比表能，它們會在絕緣層材料中聚集，這大大降低了納米效應(yīng)。納米顆粒表面改性可提高納米顆粒與基體的相容性，減少納米顆粒的重聚，改善納米顆粒與聚合基體之間的界面區(qū)域。所以，研究納米顆粒的表面改性對聚酰亞胺納米復合膜的耐電暈性能有著重要意義。 目前，化學方法通常用于納米粒子表面改性。這種方法在一定程度上提高了納米電介質(zhì)的電力性能，但國內(nèi)外學者仍在探索進一步提高絕緣層材料性能的方法。這幾年來，等離子蝕刻機廣泛運用于高聚物材料的表面改性。等離子處理納米顆粒的表面性能僅改變，不影響其自身性能。處理過程簡單，不需要化學溶劑，處理效果好。
在等離子蝕刻機的作用下，大量的羥基（-oh）活性基團會在納米顆粒表面產(chǎn)生，與水解后產(chǎn)生的硅鍵反應(yīng)形成氫鍵。在等離子處理納米顆粒表面后，有一個強烈的吸收峰值，表明和納米顆粒之間的相互作用良好，大量的覆蓋在納米顆粒表面。等離子蝕刻機處理的納米顆粒和未處理的納米顆粒在吸收峰值基本相同，表明等離子蝕刻機的處理并沒有改變納米顆粒本身的化學鍵。