等離子清洗機氣體作用：
在使用等離子清洗機清洗物體之前，應(yīng)先分析被清洗的物體和污垢，然后選擇相應(yīng)的氣體。根據(jù)等離子體的作用原理，選擇的氣體可以分為兩種，一種是氫氣、氧氣等反應(yīng)性氣體，其中氫氣主要用于清洗金屬表面的氧化物進行還原反應(yīng)。等離子清洗機引入的氧氣主要用于清洗物體表面的有機物。
另一種是等離子清洗機充入氬氣、氦氣、氮氣等非反應(yīng)性氣體。氮等離子體處理可以提高材料的硬度和耐磨性。氬和氦性質(zhì)穩(wěn)定，放電電壓低(氬原子電離能e為15.57ev)，容易形成亞穩(wěn)態(tài)原子。等離子清洗機一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，ar+轟擊污垢形成揮發(fā)性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物質(zhì)的反應(yīng)；另一方面，亞穩(wěn)原子容易利用氬形成，然后與氧和氫分子碰撞時發(fā)生電荷轉(zhuǎn)換和結(jié)合，形成氧氫活性原子作用于物體表面。
雖然在等離子清洗機中使用純氫氣清洗表面氧化物是有效的，但這里主要考慮放電的穩(wěn)定性和安全性，氬氫混合氣體更適用于等離子清洗機應(yīng)用。此外，對于材料易氧化或易還原的材料等離子清洗機也可以采用顛倒氧氣和氬氫氣體的清洗順序來達到清洗的目的。
氣體在等離子清洗機中的應(yīng)用實例：
1、金屬表面的去油和清洗：
金屬表面往往有油脂、油污、氧化層等有機物。在濺射、噴漆、粘合、粘接、鍵合、銅焊以及pvd和化學(xué)氣相沉積涂層之前，需要進行等離子體處理，以獲得清潔和無氧化物的表面。在這種情況下，等離子體處理具有以下效果:
氧化物去除：
金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。這種處理使用氫氣或氫氣-氬氣的混合物。有時采用兩步處理，一個是用氧氣氧化表面5分鐘，第二步是用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層，也可以同時用幾種氣體處理。
2、等離子刻蝕：
在等離子刻蝕過程中，被刻蝕的物體會在加工氣體的作用下變成氣相，處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，并且表面被新鮮的處理氣體連續(xù)覆蓋，不需要的蝕刻部分應(yīng)該用材料覆蓋(例如，在半導(dǎo)體工業(yè)中鉻被用作覆蓋材料)。
等離子體法也用于蝕刻塑料表面，填充混合物可以被氧氣灰化。蝕刻方法在如聚甲醛、聚苯硫醚和聚四氟乙烯，在它們印刷和粘合中進行預(yù)處理，等離子體處理可以大大增加粘結(jié)潤濕面積。
3、蝕刻和灰化：
ptfe刻蝕：
聚四氟乙烯未經(jīng)處理不能印刷或粘合。，使用活性堿金屬可以增強附著力，但這種方法不容易掌握，而且溶液有毒。使用等離子體方法不僅可以保護環(huán)境，而且可以取得更好的效果。等離子體結(jié)構(gòu)可以使表面能大化，在表面形成活性層，使ptfe可以更好的粘合印刷。
ptfe混合物的刻蝕：
ptfe混合物的蝕刻必須非常小心，以避免填料過度暴露，從而削弱附著力。處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣，它可以應(yīng)用于聚乙烯、聚四氟乙烯、熱塑性彈性體、聚甲醛等。
4、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗：
和聚丙烯、聚四氟乙烯一樣，塑料、玻璃、陶瓷都是沒有極性的，所以這些材料在印刷、粘接、涂裝前都要進行處理。同時，玻璃和陶瓷表面輕微的金屬污染也可以用等離子清洗。與燃燒處理相比，等離子處理不會損壞樣品。同時，整個表面可以均勻處理，沒有有毒氣體產(chǎn)生，也可以處理中空和有間隙的樣品。
常用的等離子清洗機處理氣體有:壓縮空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、cf4等。