圖超聲波加工原理圖。
超聲波發(fā)生器將工頻交流電能，轉(zhuǎn)變?yōu)橛幸欢üβ瘦敵龅某曨l電振蕩，通過換能器將超聲頻電振蕩轉(zhuǎn)變?yōu)槌暀C(jī)械振動(dòng)。此時(shí)振幅一般較小，再通過振幅擴(kuò)大棒（變幅桿），使固定在變幅桿端部的工具振幅增大到0.01～0.15mm。利用工具端面的超聲（16～25khz）振動(dòng)，使工作液（普通水）中的懸浮磨粒（碳化硅、氧化鋁、碳化硼或金剛石粉）對(duì)工件表面產(chǎn)生撞擊拋磨，實(shí)現(xiàn)加工。
超聲波加工的特點(diǎn)及應(yīng)用
1）適用于加工各種脆性金屬材料和非金屬材料，如玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、寶石、金剛石等。
2）可加工各種復(fù)雜形狀的型孔、型腔、形面。
3）被加工表面無(wú)殘余應(yīng)力，無(wú)破壞層，加工精度較高，尺寸精度可達(dá)0.01～0.05mm。
4）加工過程受力小，熱影響小，可加工薄壁、薄片等易變形零件。
5）單純的超聲波加工，加工效率較低。采用超聲復(fù)合加工（如超聲車削，超聲磨削，超聲電解加工，超聲線切割等），可顯著提高加工效率。