thinksrs程序控制ugapm系列—多達(dá)300臺(tái)amu氣體分析儀
工作壓力為1毫托至20托100、200和300 amu系統(tǒng)<1.5second response time
多點(diǎn)分析多范圍應(yīng)用幾乎為零死體積系統(tǒng)烘烤樣品管線加熱ugapm系列過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)
ugapm系列過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)是為分析過(guò)程氣體而設(shè)計(jì)的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作壓力從20托到1毫托。
入口以低流速(大約5x10-5毫巴升/秒)使該儀器非常適合在線分析.
ugapm的應(yīng)用包括cvd/pecvd/rie/lpcvd/mocvd、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、
真空熱處理、目標(biāo)老化、泄漏檢測(cè)/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 ml范圍)等。
這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以通過(guò)前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制。在ugapm系統(tǒng)
中，外徑為1/16”或1/8”的不銹鋼毛細(xì)管用于容納半真空取樣。利用這種配置，在處理室和分析器之間
幾乎沒(méi)有死體積。
操作原理
ugapm系統(tǒng)使用單級(jí)毛細(xì)管減壓入口從1毫托到20托對(duì)氣體進(jìn)行采樣。在壓力降低到大約10-6托氣流
被送至質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀rga ),該質(zhì)譜儀測(cè)量每種目標(biāo)質(zhì)量的濃度。
ugapm windows軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個(gè)圖形用戶(hù)界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系
統(tǒng)的閥門(mén)、加熱器和泵。
多毛細(xì)管入口
可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置，它可以在不同的地方應(yīng)用于特定的樣品壓力。
另一種是多量程配置，可適用于各種不同的樣品壓力范圍。
關(guān)鍵詞：氣體分析儀 監(jiān)控系統(tǒng) 質(zhì)譜儀 遠(yuǎn)程控制系統(tǒng) 加熱器