臺(tái)階儀(profiler)，一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器，因?yàn)榫雀?、量程大、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，在微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度led、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域，被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測(cè)量。而就是這樣一種常見(jiàn)且關(guān)鍵的測(cè)量設(shè)備，一直以來(lái)卻被美國(guó)bruke、美國(guó)kla、日本kosaka三家廠商壟斷，國(guó)內(nèi)處于一個(gè)無(wú)同類國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品可用的狀態(tài)。
進(jìn)口臺(tái)階儀受限帶來(lái)的是越來(lái)越多國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)于國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀的迫切需求。而就在今年，這一情況被打破了。2022年6月，安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發(fā)的全國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀js100a，國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀至此也實(shí)現(xiàn)了重要突破。
js100a臺(tái)階儀采用了金剛石探針，提供了兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣片和針尖同時(shí)成像，可清晰準(zhǔn)確找到測(cè)試位置，實(shí)現(xiàn)無(wú)畸變觀察樣品區(qū)。同時(shí)，在實(shí)時(shí)掃描過(guò)程中，js100a能自動(dòng)切換輔助顯微鏡，進(jìn)一步保障掃描的準(zhǔn)確性。
而在核心技術(shù)方面，js100a實(shí)現(xiàn)了3個(gè)突破，即“大行程超平面掃描技術(shù)”“大行程壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速進(jìn)針技術(shù)”“大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)技術(shù)”，這三大突破也讓臺(tái)階儀具備了超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號(hào)采集。
此外，從儀器商品的角度來(lái)說(shuō)，js100a臺(tái)階儀作為全國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀，售價(jià)會(huì)遠(yuǎn)低于進(jìn)口產(chǎn)品，可以降低用戶的采購(gòu)成本，并且相對(duì)的，能夠提供更加完善便攜的售后服務(wù)，給用戶帶去更多便利。