粒子計(jì)數(shù)器：氣體工業(yè)名詞術(shù)語。粒子計(jì)數(shù)可采用激光粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。he2ne激光粒子計(jì)數(shù)器，可分析氣體中0.11μm粒徑的顆粒雜質(zhì)；ar2kr激光粒子計(jì)數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì)，目前已有可檢測超高純氣中0.1005μm的粒子計(jì)數(shù)器。光電塵粒計(jì)數(shù)器是一種利用光的散射原理進(jìn)行塵粒計(jì)數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強(qiáng)光，使粒子發(fā)射出散射光，經(jīng)過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù)。根據(jù)粒子散射光的強(qiáng)度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計(jì)數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必不可缺的儀器。價格較昂貴。
空氣粒子計(jì)數(shù)器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的儀器，由顯微鏡發(fā)展而來，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、pcs納米激光空氣粒子計(jì)數(shù)器的過程，其中因激光空氣粒子計(jì)數(shù)器測試速度快、動態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢，而成為近年來很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。
粒子計(jì)數(shù)器不同標(biāo)準(zhǔn)的分類
1、按測試原理：光散亂法測試（白光、激光）、顯微鏡法測試、稱重法測試、dma法測試（粒徑分析儀）、慣性法測試、擴(kuò)散法測試、凝聚核法測試（cnc）等。
2、按流量：小流量 0.1cfm（2.83l/min） 大流量 1cfm（28.3l/min）
3、按形狀、體積大?。菏殖质?、臺式
4、按測試通道：單通道（只測某一種粒子徑）；雙通道（測試某兩種粒子徑）； 多通道（測試多種粒子徑）
5、其他：粒子計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域