質(zhì)譜分析法是通過對(duì)被測(cè)樣品離子的質(zhì)荷比的測(cè)定來進(jìn)行分析的一種分析方法。被分析的樣品首先要進(jìn)行離子化，然后利用不同離子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)運(yùn)動(dòng)行為的不同，把離子按質(zhì)荷比（m/z）分開而得到質(zhì)譜，通過樣品的質(zhì)譜和相關(guān)信息，可以得到樣品的定性、定量結(jié)果。
典型的質(zhì)譜儀，一般由樣品導(dǎo)入系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器和檢測(cè)器組成，此外，還含有真空系統(tǒng)和控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等輔助設(shè)備。
1、樣品導(dǎo)入系統(tǒng)：直接進(jìn)樣或接其他儀器，用于樣品的引入。
2、離子源：用于將樣品離子化。
3、質(zhì)量分析器：用于將不同質(zhì)荷比的離子分離開，讓他們逐個(gè)進(jìn)入檢測(cè)器，或只篩選特定質(zhì)荷比的離子進(jìn)入檢測(cè)器。這里需要注意的是，雖然在一種穩(wěn)定的電場(chǎng)/磁場(chǎng)下，不同質(zhì)荷比的離子也可以實(shí)現(xiàn)分離，落在不同的位置，但這樣需要大量的檢測(cè)器原件，且*限制了質(zhì)譜分辨率，是非常不現(xiàn)實(shí)的，實(shí)踐中，都是通過改變電磁場(chǎng)，使不同質(zhì)荷比或質(zhì)荷比的離子逐次進(jìn)入同一檢測(cè)器。
4、檢測(cè)器：通常是電子倍增管或其他，將離子的數(shù)量轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的大小。
5、真空系統(tǒng)：用于維持質(zhì)量分析器至檢測(cè)器部分的高真空狀態(tài)，使離子能夠在電磁場(chǎng)作用下自由飛翔，避免離子在運(yùn)動(dòng)途中發(fā)生碰撞，導(dǎo)致信號(hào)丟失或產(chǎn)生虛假信號(hào)。真空系統(tǒng)可以說是質(zhì)譜儀運(yùn)行的基礎(chǔ)。
6、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：處理檢測(cè)器捕獲到的電信號(hào)，獲得質(zhì)譜圖，并進(jìn)一步處理得到所需信息。