硅片的制備從晶體生長開始,形成單晶錠后經(jīng)過修整和磨削再切片,再經(jīng)過邊緣打 磨、精研、拋光等步驟后,最后檢查得到的硅片是否合格。鑄錠的直徑直接影響了硅片的尺寸,所以硅錠的直徑要求非常嚴格,如果還是使用常規(guī)的卡尺、卷尺等工具對硅錠的直徑進行測量,那么測量精度的要求無法達標不說,對于硅錠的直徑均一性更是保證不了。常規(guī)的測量工具在測量硅錠的直徑會有可能因為操作不慎導(dǎo)致硅錠被劃傷,后續(xù)的廢片率就會提升,所以硅錠測量直徑需要一個無損高效率高精準的測量工具,海科思影像測量儀是測量硅錠的理想測量設(shè)備。
全自動影像測量儀在測量時,僅需將硅錠放在工作臺上,就能在電腦畫面上進行影像測量,不用擔心會磨損硅錠表面,測量精度達到μm級擺脫因為測量精度不高的困擾。硅圓影像測量儀操作也相當方便,軟件內(nèi)測量功能,讓測量硅錠直徑、平行度等數(shù)據(jù)得心應(yīng)手,測量結(jié)果不受人為操作影響,效率高且保證了不同操作人員都能達到同樣的測量精度。軟硬件多方位兼顧,,省時省力。??扑纪亩扔跋駵y量儀有技術(shù)團隊提供技術(shù)支持,無論是售前還是售后都能提供服務(wù)。
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