大行程平移臺系統(tǒng)由大行程平移臺（內(nèi)部集成柔性鉸鏈、壓電陶瓷執(zhí)行機(jī)構(gòu)、應(yīng)變式傳感器）、驅(qū)動控制電路及電源組成。xd601系列大行程平移臺是基于壓電陶瓷執(zhí)行驅(qū)動的，以高精度應(yīng)變計(jì)（sgs）作為傳感反饋的運(yùn)動平臺，可實(shí)現(xiàn)x、y、z 三維的精密和快速運(yùn)動。閉環(huán)的控制方式，確保了系統(tǒng)的線性度和重復(fù)度。
在研發(fā)設(shè)計(jì)方面，xd601采用了壓電特性更加優(yōu)異的壓電陶瓷，在相同的控制電壓下可以輸出更大的位移，同時(shí)也保證了更高的穩(wěn)定性。在結(jié)構(gòu)方面采用了全新的鈦合金材質(zhì)，不僅提高了系統(tǒng)的整體強(qiáng)度，而且提高了性能。配合全新的鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)更大的位移輸出，同時(shí)保證整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于航天光纖激光通信等領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)
型號：xd601.xyz
運(yùn)動自由度：xyz
行程范圍@120v：x130/y130/z250μm
行程范圍@150v：x180/y180/z300μm
閉環(huán)傳感器：sgs
閉分辨率：xy7nm z10nm
承載能力：0.2 kg
壓電控制器
系統(tǒng)中的另一組成部分為驅(qū)動大行程平臺的壓電控制器，配套的e70.d3s系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電控制器。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了pi 調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。
技術(shù)參數(shù)
型號：e70.d3s
通道數(shù)：3
模擬輸入：0~10v
輸出電壓：0~120/150v
平均電流：70ma
放大器帶寬：10khz
傳感器類型：sgs
通信接口：rs-232/422
重 量：1.2kg
供電電壓：24v dc1.5a(36w)