日本valcom壓力傳感器的原理及產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及操作說明
傳感器芯片結(jié)構(gòu)在硅片受壓部(硅膜片)中,與通常的ic制造工序一樣,通過雜質(zhì)擴(kuò)散形成硅規(guī)。
當(dāng)對硅片施加壓力時,儀表電阻會根據(jù)撓度而變化,并轉(zhuǎn)換為電信號。(壓阻效應(yīng))
該量規(guī)的特點(diǎn)是量規(guī)比大。(金屬規(guī)格為2-3,硅規(guī)格為數(shù)十至100)。
結(jié)果,可以獲得高輸出,使得可以用厚膜片制造,并且提高了壓力傳感器的耐壓性。
目標(biāo)型號半導(dǎo)體型壓力傳感器
vdp4、vsw2(低壓用)等
半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及操作說明半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器是與測量介質(zhì)直接接觸的具有高耐腐蝕性的金屬膜片(相當(dāng)于哈氏合金c-22、sus316l等),以及通過傳感器檢測壓力的硅片(硅膜片)。密封硅油。) 用于雙隔膜方法。
通過壓力入口與測量介質(zhì)直接接觸的是sus316l隔膜(或哈氏合金c-22等效),可以穩(wěn)定測量不浸入的介質(zhì)(空氣、水、油等)它...[連接螺釘形狀為 g3 / 8 時,使用 o 型圈(氟橡膠)密封管道。]
特征可以制造可以測量正壓、負(fù)壓、耦合壓力和絕對壓力的各種傳感器元件。
與介質(zhì)直接接觸的受壓構(gòu)件相當(dāng)于哈氏合金c-22,可以用sus316l制造,因此具有優(yōu)良的耐腐蝕性。
由于檢測壓力的硅芯片的厚隔膜,具有出色的耐壓性。
目標(biāo)型號半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器
vesw、vesx、vesy、vesz、vhr3、vhg3、var3、vag3、vprnp、vpnpr、vpnpg、vnf、hs1、hv1、as1、av1、ns1、nv1、vesi、vesv、vsw2、vst等.
關(guān)鍵詞:壓力傳感器 傳感器 芯片