納米位移臺(tái)/壓電位移臺(tái)/壓電平移臺(tái)/壓電納米位移臺(tái)
納米位移臺(tái)即為可產(chǎn)生納米級(jí)步進(jìn)位移的位移平臺(tái)，精度在納米級(jí)。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，分多種驅(qū)動(dòng)方式，如直驅(qū)式、放大機(jī)構(gòu)式、馬達(dá)式。三者相比，響應(yīng)速度快的為直驅(qū)式結(jié)構(gòu)的壓電納米位移平臺(tái)，行程較大的是壓電馬達(dá)式壓電納米位移平臺(tái)，可達(dá)毫米、厘米甚至米量級(jí)。
直驅(qū)式機(jī)構(gòu)-壓電納米位移臺(tái)
直驅(qū)式機(jī)構(gòu)的壓電納米位移臺(tái)具有多種外觀，如柱形、環(huán)形、平臺(tái)型等。結(jié)構(gòu)如下圖所示。柱形更適于單軸運(yùn)動(dòng)、單螺紋負(fù)載固定、空間受限的應(yīng)用。而平臺(tái)型可輸出1至3維的位移，適于單軸或多軸的位移要求的應(yīng)用。
參數(shù)舉例
型號(hào)：p66.xy
運(yùn)動(dòng)軸：x、y
位移范圍：34µm/軸
承載能力：7kg
參數(shù)舉例
型號(hào)：pst150/10/60vs15
運(yùn)動(dòng)軸：z
位移范圍：57µm
推力：2300n
放大式機(jī)構(gòu)-壓電納米位移臺(tái)
放大式機(jī)構(gòu)的壓電納米位移臺(tái)是通過分析、設(shè)計(jì)特殊鉸鏈結(jié)構(gòu)，將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出，放大倍數(shù)自由設(shè)計(jì)，一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺(tái)式和橢圓結(jié)構(gòu)式。
參數(shù)舉例
型號(hào)：p11.xyz
運(yùn)動(dòng)軸：x、y、z
位移范圍：110µm/軸
承載能力：600g
橢圓結(jié)構(gòu)
參數(shù)舉例
型號(hào)：p06.x40a
運(yùn)動(dòng)軸：z(收縮)
位移范圍：41µm
出力：125n
型號(hào)：p06.x500r
運(yùn)動(dòng)軸：z(膨脹)
位移范圍：560µm
出力：100n