半導(dǎo)體在制造過程中,會(huì)添加石墨粉提高性能,也并不是區(qū)別的石墨粉可以滿足,接下來我們?yōu)榇蠹以敿?xì)講解下半導(dǎo)體用石墨粉要求。
1、純度規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)對石墨粉原料規(guī)定很高,特別是在是兩者之間觸碰的石墨器件,假如雜質(zhì)過多會(huì)污染原材料。因此除嚴(yán)格管理石墨原料的純度外,也要經(jīng)高溫將灰度降至最少。
2、粒度分布規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)級(jí)石墨原材料規(guī)定顆粒物度要細(xì),顆粒物度細(xì)的石墨非常容易做到生產(chǎn)加工精密度,且高溫抗壓強(qiáng)度高,耗損小。
3、耐熱規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)石墨器件,大多數(shù)要開展不斷加溫和制冷,為提升器件的使用期,石墨原材料要在高溫下具備優(yōu)良的可靠性和耐高溫沖擊性性能。