微區(qū)x射線熒光光譜分析技術(shù)是對(duì)大尺寸不規(guī)則、不均勻樣品、甚至微小包裹體進(jìn)行高靈敏度、非破壞性的元素分析方法。
1. 矩形的真空室設(shè)計(jì)，樣品不需制備，可直接放入艙內(nèi)檢測(cè)；
2. 優(yōu)化的x射線光路，小光斑直徑降到20µm范圍內(nèi)，且提供高的束流；
3. 多種儀器配置：可以選擇增加了x射線管或探測(cè)器；
4. 通過(guò)使用真空模式（低噪音泵）和slew窗口，獲得輕質(zhì)元素的高靈敏度；
5. easyload功能：方便樣本的裝入、取出，測(cè)量同時(shí)可以通過(guò)兩個(gè)影像系統(tǒng)查看樣品被測(cè)位置，自動(dòng)聚焦autofocus，樣品臺(tái)移動(dòng)和其它操作由鼠標(biāo)控制。