在線質(zhì)譜儀應用于工業(yè)流程進行過程分析，一般都是定量分析，而且都是多道的。多道質(zhì)譜儀加速電壓固定，在離子分離器離子出射端設多個出射狹縫，每個狹縫對應一個質(zhì)荷比，用于檢測氣體試樣中一種組分的含量。它可對工業(yè)流程中的氣體或蒸汽進行定性、定量實時檢測。它的特點是分析速度快，精密度高，可同時進行多組分分析。它的缺點是儀器價格高，維護量較大。
在線質(zhì)譜儀分析速度快，只要幾秒到20多秒就能對一種氣流進行分析。乙烯本身是易燃、易爆的可燃氣體，將乙烯與一定濃度的氧氣和其他烴類進行氧化又是放熱反應，更增加了生產(chǎn)的危險性。工藝人員要求及時正確地計算允許乙烯、氧氣和其他烴類或惰性物質(zhì)的混合物的可燃性極限，以及允許的*大氧濃度，這種計算的主要依據(jù)是應用在線質(zhì)譜儀對反應進行實時的全組分分析測量的數(shù)據(jù)。
產(chǎn)生故障的可能原因及排除方法：
a.參考標樣全氟只丁氨瓶中無參考標樣，排除方法是添加參考標樣全氟硯丁氨于質(zhì)譜儀內(nèi)置的參考樣瓶中；
b.參考標樣的管路被堵塞，排除方法是拆下管路，用丙酮超聲清洗；
c.空氣泄漏，排除方法是檢查空氣峰m/z28的高度，若大于10%氦氣峰m/z4的高度，表明有空氣泄漏，用注射器將丙酮滴在各接口處，通過觀察丙酮的分子離子峰m/z58的強度變化,進一步查明泄漏的確切位置。
6.故障現(xiàn)象：出現(xiàn)不規(guī)則、粗糙的調(diào)諧峰
產(chǎn)生故障的可能原因及排除方法：
a.離子源被污染，排除方法是對離子源依次用甲醇、丙酮超聲清洗各15min；
b.燈絲老化，排除方法是更換燈絲；
c.在線質(zhì)譜儀調(diào)諧未達到好的狀態(tài)，排除方法是重新調(diào)諧質(zhì)譜儀。