迷你臺棱鏡半自動超高溫實驗反應釜的特點
半自動超高溫實驗反應釜 最高2000°c迷你工作臺增加了plc自動序列以提高可操作性[迷你工作臺棱鏡（迷你工作臺棱鏡）]
真空置換爐最高2000°c
還原氣氛爐最高2000°c
plc半自動控制 自動順序控制（手動調節(jié)氣體流量→針閥）半自動控制型電爐操作的自動順序控制 臺式型號 “抽真空”和“排氣” mini-bench監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。 由sus堅固的水冷室制成，即使在最高溫度下連續(xù)使用也可以安全使用。
特征節(jié)省空間：603（闊）x 603（深）x 1，170（高）mm
plc半自動操作：（抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣）
聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關閉）
圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）
工作氣氛：真空、惰性氣體、還原性氣氛
原理圖規(guī)格
真空和氣體置換爐（碳爐）還原氣氛爐（金屬爐）
最高工作溫度 最高2000°c
加熱器 石墨或c/c復合加熱器 鎢加熱器
絕緣 石墨氈材料 鎢屏蔽層，氧化鋁絕緣
真空室 sus304水冷夾套結構，頂部裝載，線性驅動可打開（φ3，僅4英寸）
使用氛圍 在真空或惰性氣體（ar、n2）中 在真空中，惰性氣體（ar，n2），還原氣體（h2等）
有效加熱范圍 φ1“~ φ4”（用于晶圓片進料燒制的平面加熱器），或 -φ80 x 深度 最大100 （h） mm （圓柱形加熱器）
極限真空度 1x10-2 帕斯卡（* 用于空爐）
真空泵 旋轉泵（可選：干泵、高真空泵）
熱電偶 包括c型熱電偶
聯(lián)鎖 腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水減少、腔室打開和關閉
公用設施和冷卻水 加熱器額定值最大 6kva（* 取決于加熱范圍尺寸），冷卻水 3 升/分鐘 0.4mpa
加熱器
平面加熱絲（用于晶圓）：c / c復合材料（或鎢）
圓柱形加熱絲（用于坩堝）：c / c復合材料（或鎢）
* 根據(jù)加熱范圍的尺寸，通過組合平面加熱器和圓柱形加熱器，可以在整個坩堝中均勻加熱。