該儀器采用了主動擾動抑制技術(shù)、快速應(yīng)力形變分析算法、共光路橫向錯位干涉、二維偏振相移等技術(shù)，大口徑、大面形、抗高溫空氣擾動等關(guān)鍵技術(shù)。可對6英寸樣品應(yīng)力和形變進行全場、快速、直接測試。適用于微電子、光電子器件科研生產(chǎn)中電子基片和薄膜的面形分布、應(yīng)力分布和應(yīng)力釋放過程的測試，為提高電子元器件質(zhì)量和可靠性提供數(shù)據(jù)支持?？蓽ysi、caas、ingaas和ge等具有反光性能的薄膜或拋光片基片和薄膜面形測試薄膜應(yīng)力分布測試；應(yīng)力和形變釋放過程測試變溫基片形變和薄膜應(yīng)力測試；具有測試過程數(shù)據(jù)記錄功能，輸出結(jié)果類型：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、數(shù)據(jù)表格、溫度與應(yīng)力曲線技術(shù)參數(shù)：測試樣片尺寸：2～6英寸激光波長：650nm±30nm激光功率：≥15mw樣品溫控范圍：室溫～200℃溫度均勻性：±2%±2℃溫度控制精度：±2%±1℃溫度顯示分辨率：0.1℃曲率半徑測試范圍：∣r∣≥8m曲率半徑測試精度：5%應(yīng)力測量范圍：50mpa～1gpa應(yīng)力重復(fù)測量精度：±10%±10mpa應(yīng)力測量顯示分辨率：10mpa測試時間：≤3min/片電源：ac 220（1±10%）v，50（1±5%）hz功耗：≤350w結(jié)構(gòu)特征：臺式外形尺寸（w×h×d）：≤520mm×630mm×850mm重量：約80kg
3052型紅外氣體分析儀
紅外氣體分析儀適用于常量、微量的二氧化硫分析儀、一氧化碳分析儀、二氧化碳分析儀、甲烷分析儀等氣體的分析，全量程覆蓋，包括0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%標準3u機箱，能安裝在成套設(shè)備中大屏幕lcd顯示，全中文菜單操作，且有操作提示功能，操作簡單、高效標準rs232數(shù)字通訊功能，可直接與電腦或dcs連接 ，可選配配有標準上位機軟件輸出為同步、隔離的（0/2/4-20）ma及（0/0.5/1-5）v信號可選，默認為（4-20）ma和（1-5）v，電流輸出負載≤400ω，電壓輸出負載≥250ω具有故障、b警指示與提示功能可存儲3000條完整記錄，峰值可查詢可選配微型打印機工作原理：該紅外氣體分析儀可用于二氧化硫分析儀、二氧化碳分析儀、一氧化碳分析儀、甲烷分析儀等。屬于電調(diào)制非分光式(ndir)紅外線氣體分析器，其工作原理是基于不同種類的氣體對紅外線的選擇性吸收效率不同。儀器采用單光源、單管隔半氣室及檢測器，分析精度高、穩(wěn)定性好。技術(shù)參數(shù)：檢測原理：紅外線檢測方式：泵吸式重復(fù)性： ≤±1%零點漂移：≤±1%f.s/15d量程漂移：≤±1%f.s/15d線性誤差：≤±1%f.s分辨率：0.01%f.s響應(yīng)時間：t90≤15s被測氣體的流量：0.5～3l/min使用環(huán)境溫度：-10～55℃；相對濕度：≤90%電源：220v±10% ；50±0.5hz 150w測量值輸出：0～20ma; 0～10mv; 4～20ma；1～5v(按用戶要求提供，在*大負載600ω內(nèi)不受負載影響，數(shù)字式顯示。)應(yīng)用領(lǐng)域：紅外氣體分析儀，高精度紅外氣體分析儀，北京紅外氣體分析儀，紅外氣體分析儀，一氧化碳分析儀，二氧化硫分析儀，二氧化碳分析儀，甲烷分析儀，碳氫分析儀，四氯化碳分析儀，六氟化硫分析儀，氨氣分析儀