hmds烘箱結(jié)構(gòu)，hmds涂布機原理
hmds，即六甲基二硅胺，是半導(dǎo)體光刻工藝中一種常見的耗材。hmds是一種易揮發(fā)的化學品，傳送到工藝腔的hmds是以氣態(tài)形式存在的，其均勻附著在晶圓表面，形成hmds膜層。
hmds烘箱結(jié)構(gòu)，hmds涂布機原理
現(xiàn)有技術(shù)中，涂布過程一般先在氮氣的保護下對晶圓進行加熱，同時通入hmds進行涂布，但由于前期氮氣的通入，為了保證hmds的濃度及擴散效果，必須增加hmds的通入量，才能使其濃度達到一定范圍，這樣勢必造成hmds的浪費，且hmds為有害氣體，過高濃度的排放會對環(huán)境造成嚴重破壞。
hmds烘箱，hmds涂布機技術(shù)參數(shù)
工作室尺寸
350×350×350、450×450×450、850×850×850（mm）可自定義
材質(zhì)
外箱采用冷軋板噴塑或304不銹鋼，內(nèi)箱采用316l醫(yī)用級不銹鋼
溫度范圍
rt+10-250℃
真空度
≤133pa（1torr）
潔凈度
class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
控制儀表
人機界面
擱板層數(shù)
2層
hmds控制
可控制hmds藥夜添加量
真空泵
旋片式油泵（可選配進口無油泵）
保護裝置
hmds低液位報警，hmds自動添加，超溫保護，漏電保護，過熱保護等