x射線熒光光譜儀在使用中也會有一些故障出現(xiàn)，因此了解儀器的使用方法、常見故障原因、如何維修保養(yǎng)等資料，有利于實(shí)驗(yàn)人員更加快速準(zhǔn)確的操縱。
常見故障及原因：
一、分光室真空抽不下去
活塞0-ring臟或者是流氣探測器窗口破裂
二、高壓(ht)加不上
1、檢查x-射線指示燈是否燒斷
2、檢查內(nèi)循環(huán)水水溫是否在正常范圍內(nèi)
3、檢查內(nèi)循環(huán)水電導(dǎo)率是否在正常范圍內(nèi)
4、檢查內(nèi)循環(huán)水水流量是否在正常范圍內(nèi)
5、檢查內(nèi)循環(huán)水水箱水位(必要時添加去離子水)
6、檢查光學(xué)室真空度是否小于100pa
三、探測器氣體沒有流量
在“光譜儀狀態(tài)”視窗單擊start detector gas按鈕。如果還沒有流量，調(diào)節(jié)流量針閥。
四、脈沖高度發(fā)生漂移
在tcm4400維護(hù)軟件中，調(diào)節(jié)探測器高壓。
五、探測器能量分辯率惡化
更換流氣探測氣陽極絲( 50um)或流氣探測氣窗膜(1um)
六、內(nèi)部轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動超時
檢查或更換傳動皮帶及定位傳感器
七、活塞上升或下降超時
檢查壓縮空氣壓力與定位傳感器是否正常
八、cap關(guān)閉或打開超時
檢查壓縮空氣壓力與定位傳感器是否正常
九、superq軟件故障
重新安裝superq3.0,拷貝進(jìn)備份的userdata數(shù)據(jù)庫。
十、儀器恒溫失控
檢查恒溫傳感器、加熱爐絲和電源
十一、內(nèi)循環(huán)水沒有流量或流量不足
1、檢查水泵電源，如有問題請更換水泵。
2、調(diào)節(jié)流量(此工作須由儀器公司維修工程師完成)