機(jī)電一體化伺服系統(tǒng)要求具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好、負(fù)載能力強(qiáng)和工作頻率范圍大等基本要求，同時(shí)還要求體積小、重量輕、可靠性高和成本低等。
1、系統(tǒng)精度
伺服系統(tǒng)精度指的是輸出量復(fù)現(xiàn)輸入信號(hào)要求的精確程度，以誤差的形式表現(xiàn)，即動(dòng)態(tài)誤差、穩(wěn)態(tài)誤差和靜態(tài)誤差。穩(wěn)定的伺服系統(tǒng)對(duì)輸入變化是以一種振蕩衰減的形式反映出來(lái)，振蕩的幅度和過(guò)程產(chǎn)生了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)誤差；當(dāng)系統(tǒng)振蕩衰減到一定程度以后，我們稱其為穩(wěn)態(tài)，此時(shí)的系統(tǒng)誤差就是穩(wěn)態(tài)誤差；由設(shè)備自身零件精度和裝配精度所決定的誤差通常指靜態(tài)誤差。
2、穩(wěn)定性
伺服系統(tǒng)的穩(wěn)定性是指當(dāng)作用在系統(tǒng)上的干擾消失以后，系統(tǒng)能夠恢復(fù)到原來(lái)穩(wěn)定狀態(tài)的能力；或者當(dāng)給系統(tǒng)一個(gè)新的輸入指令后，系統(tǒng)達(dá)到新的穩(wěn)定運(yùn)行狀態(tài)的能力。如果系統(tǒng)能夠進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)，且過(guò)程時(shí)間短，則系統(tǒng)穩(wěn)定性好；否則，若系統(tǒng)振蕩越來(lái)越強(qiáng)烈，或系統(tǒng)進(jìn)入等幅振蕩狀態(tài)，則屬于不穩(wěn)定系統(tǒng)。機(jī)電一體化伺服系統(tǒng)通常要求較高的穩(wěn)定性。
3、響應(yīng)特性
響應(yīng)特性指的是輸出量跟隨輸入指令變化的反應(yīng)速度，決定了系統(tǒng)的工作效率。響應(yīng)速度與許多因素有關(guān)，如計(jì)算機(jī)的運(yùn)行速度、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的阻尼、質(zhì)量等。
4、工作頻率
工作頻率通常是指系統(tǒng)允許輸入信號(hào)的頻率范圍。當(dāng)工作頻率信號(hào)輸入時(shí)，系統(tǒng)能夠按技術(shù)要求正常工作；而其它頻率信號(hào)輸入時(shí)，系統(tǒng)不能正常工作。在機(jī)電一體化系統(tǒng)中，工作頻率一般指的是執(zhí)行機(jī)構(gòu)的運(yùn)行速度。
上述的四項(xiàng)特性是相互關(guān)聯(lián)的，是系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性的表現(xiàn)特征。利用自動(dòng)控制理論來(lái)研究、分析所設(shè)計(jì)系統(tǒng)的頻率特性，就可以確定系統(tǒng)的各項(xiàng)動(dòng)態(tài)指標(biāo)。系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，在滿足系統(tǒng)工作要求（包括工作頻率）的前提下，首先要保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度，并盡量提高系統(tǒng)的響應(yīng)速度。