三坐標(biāo)測量機(jī)的測頭系統(tǒng)是由測座、測頭、探針等組成，是數(shù)據(jù)采集的傳感器系統(tǒng)，三坐標(biāo)測量機(jī)在對(duì)工件進(jìn)行測量時(shí)，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)探測工件，返回工件表面的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)(如ac-dmis)計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等。
1.測頭座
測頭座是探測系統(tǒng)中連接三坐標(biāo)測量機(jī)移動(dòng)軸與測頭的部分，測頭信號(hào)通過測座同三坐標(biāo)測量機(jī)控制系統(tǒng)的測頭接口相連。測座有多種，主要分為手動(dòng)可旋轉(zhuǎn)測座、固定測座、萬向探測系統(tǒng)三種。
2.測頭
測頭是測量機(jī)觸測被測零件的發(fā)訊開關(guān)，它是坐標(biāo)測量機(jī)的關(guān)鍵部件，主體為探測傳感器，一般由獨(dú)立的控制系統(tǒng)控制，其主要包括測量力的控制、測量過程控制、測點(diǎn)的感知、與坐標(biāo)測量系統(tǒng)通訊等。
3.探針
安裝在測頭上，并接觸被測量元件，典型結(jié)構(gòu)為測桿+紅寶石球。不同形狀和規(guī)格，確保測頭不受限制的對(duì)工件所有特征元素進(jìn)行測量，整個(gè)探針系統(tǒng)包括：接長桿、轉(zhuǎn)接件、探針(組)等。探針系統(tǒng)可以根據(jù)相關(guān)的測量要求，通過對(duì)這些構(gòu)件的組合與配置，形成各種結(jié)構(gòu)形式，以完成不同的測量任務(wù)。
4.附件
1)加長桿
加長桿探針的輔助測量，具有測量較深位置特征的能力。
2)更換架
由于被測工件的復(fù)雜性，在實(shí)際測量工作中不可能由一個(gè)探針(系統(tǒng))完成所有的測量任務(wù)，更換架可對(duì)測量機(jī)測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)的更換，在同一測量系統(tǒng)下對(duì)不同的工件進(jìn)行*自動(dòng)化的檢測。
3)標(biāo)準(zhǔn)球
由坐標(biāo)測量系統(tǒng)供應(yīng)商提供的一個(gè)(組)已知直徑的高精度球(球度誤差很小)，用來標(biāo)定和校準(zhǔn)探測系統(tǒng)。這個(gè)裝置在平時(shí)使用過程中必須注意保護(hù)，因?yàn)樗菧y量機(jī)精度的依據(jù)之一，也是使用很頻繁的一個(gè)裝置。