ASML官宣新款EUV光刻機(jī)!2年內(nèi)老款EUV光刻機(jī)可自由出貨

發(fā)布時(shí)間:2024-03-11
asml正式發(fā)布了2021年財(cái)報(bào)數(shù)據(jù),除了靚麗的營(yíng)收和凈利潤(rùn)數(shù)據(jù)外,asml還官宣了新款euv光刻機(jī)。
據(jù)悉,asml一次性推出了兩款新型euv光刻機(jī),其na值均是0.55,相比現(xiàn)有型號(hào)的euv光刻機(jī),其na明顯提升,畢竟,老款euv光刻機(jī)的na值為0.33。
另外,新款euv光刻機(jī)采用擁有更高的na值,就意味著其擁有更高的曝光精度,能夠進(jìn)行更小晶圓的生產(chǎn)制造,關(guān)鍵是效率也大幅度提升,每小時(shí)曝光晶圓200片以上。
而現(xiàn)有型號(hào)的euv光刻機(jī),其每小時(shí)的晶圓曝光量為160片左右。
最主要的是,其中一款新型號(hào)的euv光刻機(jī)已經(jīng)交付給了英特爾,而另外一款也有5套訂單了。
也就是說(shuō),asml已經(jīng)具備了出貨更先進(jìn)euv光刻機(jī)的能力。
對(duì)此,就有外媒表示,2年內(nèi)老款euv光刻機(jī)可自由出貨。外媒如此肯定,也給出了以下幾點(diǎn)原因。
首先,euv光刻機(jī)是在2018年開(kāi)始出現(xiàn),并在2019年開(kāi)始大量交付,而臺(tái)積電也是在2019年推出了7nm euv工藝。
euv光刻機(jī)出貨后,asml方面就表示,duv光刻機(jī)在一般情況下是可以自由出貨的,除了在美生產(chǎn)制造的duv光刻機(jī)。
2021年asml就實(shí)現(xiàn)了duv光刻機(jī)等設(shè)備自由出貨,并直接與asml簽訂了價(jià)值11億美元的采購(gòu)協(xié)議。
也就是說(shuō),新一代光刻機(jī)出現(xiàn)后,老款光刻機(jī)很快就實(shí)現(xiàn)了自由出貨,duv光刻機(jī)就是例子。如今,新款euv光刻機(jī)已經(jīng)交付,老款也會(huì)在2年內(nèi)自由出貨。
其次,asml正在加速euv光刻機(jī)普及。
euv光刻機(jī)是生產(chǎn)制造7nm以下芯片的必要設(shè)備,再加上,越來(lái)越多的儲(chǔ)存芯片廠商也開(kāi)始用euv工藝。
于是,asml明確表示要在2025年實(shí)現(xiàn)euv光刻機(jī)使用達(dá)到60%。
要知道,目前euv光刻機(jī)的出貨量不高,2021年僅為42臺(tái),占asml全年光刻機(jī)出貨量的1/7。
另外,還有三家企業(yè)可以生產(chǎn)制造光刻機(jī),這意味著asml要在2025年實(shí)現(xiàn)了euv光刻機(jī)的安裝使用率高達(dá)60%,其必然要實(shí)現(xiàn)自由出貨。
數(shù)據(jù)顯示,euv光刻機(jī)的安裝量應(yīng)該在140臺(tái),這樣的基數(shù)實(shí)在太少了,要想實(shí)現(xiàn)60%的使用率,自由出貨和提升產(chǎn)能是的。
再加上,中國(guó)市場(chǎng)是巨大的,三星、sk海力士都在此有大量的工廠,這些工廠也是需要euv光刻機(jī)。
但由于規(guī)則被修改,euv光刻機(jī)不能出貨安裝到外企中國(guó)分廠,這意味著asml只有實(shí)現(xiàn)euv光刻機(jī)自由出貨,才能夠解決問(wèn)題。
最后,壓力讓asml不得不快速實(shí)現(xiàn)euv光刻機(jī)自由出貨。
euv光刻機(jī)原先是生產(chǎn)制造7nm以下芯片的必要設(shè)備,但如今可不再是設(shè)備了。
因?yàn)榧涯?、鎧俠科技等聯(lián)合研發(fā)了全新的nil工藝,目前已經(jīng)用該工藝量產(chǎn)了15nm的芯片,預(yù)計(jì)在2025年用nil工藝量產(chǎn)5nm芯片。
另外,nil不僅能夠降低耗電量,也能夠降低設(shè)備采購(gòu)成本,關(guān)鍵是,佳能、鎧俠等有意在范圍內(nèi)推廣該工藝。
還有就是,臺(tái)積電也明確表示,duv光刻機(jī)可以量產(chǎn)7nm芯片,也可以量產(chǎn)5nm芯片,只不過(guò)工藝更復(fù)雜一些,成本也高一點(diǎn)。
這兩個(gè)消息讓asml壓力很大,尤其全新的nil工藝,一旦在范圍內(nèi)推廣,屆時(shí)euv光刻機(jī)的市場(chǎng)必然會(huì)縮小。
因?yàn)閚il工藝相比euv工藝不僅能節(jié)約的電耗成本,還有euv光刻機(jī)成本,這兩點(diǎn)就能夠大大降低5nm等芯片的生產(chǎn)制造成本。
為了市場(chǎng),asml自然要在nil工藝之前實(shí)現(xiàn)euv光刻機(jī)普及,否則,影響就大了。所以,外媒才說(shuō),asml官宣新款euv光刻機(jī)!2年內(nèi)老款euv光刻機(jī)可自由出貨。
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