角速度傳感器（gyroscope），又稱陀螺儀，是一種測量物體角速度變化的傳感器。廣泛應用于航空、航天、導航、慣性導航、機器人以及智能手機等領域。在航空和航天領域中，角速度傳感器是保持飛行器穩(wěn)定的關鍵組件之一。在導航和慣性導航領域，角速度傳感器可以測量航向、角度和旋轉(zhuǎn)速度。在機器人領域，角速度傳感器則可用于控制機器人的運動。在智能手機領域，角速度傳感器可以感知用戶的手勢操作。
傳統(tǒng)的角速度傳感器是基于機械式的陀螺組件，由于機械陀螺存在較多的缺點，計算機技術的快速發(fā)展使得mems（微機電系統(tǒng)）陀螺儀逐漸成為了角速度傳感器的主流。mems陀螺儀是一種基于微加工技術制造微小結(jié)構的傳感器，它通過材料的應變或電容的變化等方式來測量角速度。相比機械式陀螺儀，mems陀螺儀具有更高的穩(wěn)定性、更小的體積、更低的成本和更高的可靠性等優(yōu)點。
mems陀螺儀的工作原理是基于科氏力（coriolis force）的作用。當旋轉(zhuǎn)的發(fā)生時，微小的加速度會作用于陀螺儀中的質(zhì)量塊，在質(zhì)量塊內(nèi)部繞著支架軸旋轉(zhuǎn)的另一個質(zhì)量塊將會產(chǎn)生與角速度方向正交的慣性力。由于阻力的作用，質(zhì)量塊不能繼續(xù)運動，這一過程產(chǎn)生的力稱為科氏力，同時產(chǎn)生的傳感器輸出信號也就對應著角速度。
mems陀螺儀的準確度與其結(jié)構設計緊密相關。目前市場上的 mems陀螺儀分為三種類型：單軸陀螺儀、雙軸陀螺儀和三軸陀螺儀。單軸陀螺儀只能測量單個維度上的角速度變化；雙軸陀螺儀可以測量兩個維度上的角速度變化，但是無法測量其它方向；三軸陀螺儀則可以與加速度傳感器（accelerometer）一起協(xié)同工作，實現(xiàn)六自由度（6dof）的姿態(tài)識別。
除了常見的慣性導航、航空和航天控制等領域，mems陀螺儀還可以應用于運動控制、智能家居、虛擬現(xiàn)實以及自動駕駛等領域。例如，在自動駕駛領域中，mems陀螺儀可用于判斷車輛轉(zhuǎn)彎方向和角度，幫助車輛保持穩(wěn)定狀態(tài)。
總之，角速度傳感器作為一種測量角速度變化的傳感器，已經(jīng)成為了現(xiàn)代工業(yè)、科技和日常生活中不可或缺的一部分。在未來，隨著技術的不斷革新和升級，角速度傳感器的應用場景將會更為廣泛，其準確度和使用效果也將不斷提高。