傳感器的性能指標(biāo)應(yīng)包括靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性，主要如下。
1.精度 符合輸出量與輸入量之間特定函數(shù)關(guān)系的準(zhǔn)確程度稱(chēng)作精度。要求高精度和高速實(shí)時(shí)測(cè)量。
2.分辨率 分辯率應(yīng)適應(yīng)機(jī)床精度和伺服系統(tǒng)的要求。
3.靈敏度 靈敏度高、一致。
4.遲滯 對(duì)某一輸入量，傳感器的正行程的輸出量與反行程的輸出量的不一致，稱(chēng)為遲滯。要求遲滯小。
5.測(cè)量范圍和量程 傳感器的測(cè)量范圍要滿(mǎn)足系統(tǒng)的要求，并留有余地。
6.零漂與溫漂 傳感器的漂移量是其重要性能標(biāo)志，它反映了隨時(shí)間和溫度的變化，傳感器測(cè)量精度的微小變化。
其它：還要求可靠，抗干擾性強(qiáng)、使用維護(hù)方便、成本低等。