質(zhì)量流量計與傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計的測量原理類似，流體的質(zhì)量流量與流過傳感器所帶走的熱量相對應(yīng)。在流量芯片上，1個微熱源的上、下游各對稱地設(shè)置1個溫度傳感器，還設(shè)置了1個環(huán)境溫度傳感器，用來調(diào)節(jié)環(huán)境溫度變化對微熱源的影響。流體的質(zhì)量流量，微熱源上、下游的溫度變化及微熱源的功率是芯片的主要參數(shù)。傳感器所測量的流量為與溫度和壓力無關(guān)的質(zhì)量流量。盡管如此，控制電路的溫度補償是流量計溫度效應(yīng)的主要來源。
質(zhì)量流量計的優(yōu)點為：
①量程比大，mf－fd系列氣體質(zhì)量流量計的量程比達(dá)100∶1。
②始動流量小?？捎行Ы鉀Q機(jī)械式流量計的小流量漏計問題，減小燃?xì)夤镜墓╀N差。
③直接進(jìn)行質(zhì)量計量，不需溫度、壓力補償，減少計量損失。
④壓力損失小，能保證系統(tǒng)節(jié)能運行。
⑤重量輕。與容積式流量計相比，mems質(zhì)量流量計的重量大大減輕。
⑥無可動部件。
⑦全電子智能功能。專門設(shè)計的電子控制部件能提供信號傳輸、事故報警、ic卡控制等功能；內(nèi)置存儲器進(jìn)行歷史數(shù)據(jù)記錄，為深入分析和管理用戶用氣創(chuàng)造了條件；網(wǎng)絡(luò)通信功能可輕松實現(xiàn)城市燃?xì)鈨x表的系統(tǒng)管理，為城市燃?xì)鈱崿F(xiàn)調(diào)峰、階梯收費等措施創(chuàng)造了條件。