隨著科技的發(fā)展，mems（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)廣泛應(yīng)用于手機(jī)、汽車電子、航空航天等領(lǐng)域。qmems (quartz micro-electromechanical systems)陀螺儀是一種基于mems技術(shù)的陀螺儀，通過微小的晶體進(jìn)行測(cè)量和控制運(yùn)動(dòng)方向，成為了現(xiàn)代導(dǎo)航和控制系統(tǒng)中的重要部件。
qmems陀螺儀的結(jié)構(gòu)是由一個(gè)微小的振動(dòng)圓盤和撓性桿組成，振動(dòng)圓盤和撓性桿使用石英晶體級(jí)聯(lián)，在機(jī)械振動(dòng)和電子信號(hào)之間達(dá)到精密的耦合效果，可以提供極高的精度和穩(wěn)定性。它的工作原理是基于科氏力的原理，當(dāng)一個(gè)物體在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，由于科氏力的作用，在旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)系下會(huì)出現(xiàn)一個(gè)陀螺作用，這個(gè)作用的方向始終是垂直于旋轉(zhuǎn)軸和質(zhì)心連線的方向。因此，通過測(cè)量陀螺作用的強(qiáng)度和方向就可以確定旋轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)動(dòng)角速度。
qmems陀螺儀具有快速響應(yīng)、高精確度和長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用于導(dǎo)航控制、慣性導(dǎo)航、姿態(tài)控制等領(lǐng)域。在現(xiàn)代無人駕駛汽車、航空器等智能化設(shè)備中也起著重要作用。此外，由于其小型化、低功耗、成本低廉等特點(diǎn)，qmems陀螺儀可以實(shí)現(xiàn)集成芯片的生產(chǎn)，極大地促進(jìn)了mems技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用。
目前，qmems陀螺儀的應(yīng)用已經(jīng)覆蓋了航空、航天、軍事、汽車、醫(yī)療、運(yùn)動(dòng)器材、智能手機(jī)等領(lǐng)域，促進(jìn)了社會(huì)的發(fā)展和進(jìn)步。