隨著mems技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步，mems加速度計(jì)在航空、軍事、汽車等領(lǐng)域中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用和研究。而近年來，基于硅納米波導(dǎo)倏逝場(chǎng)耦合的超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)也逐漸成為了研究的焦點(diǎn)和熱門領(lǐng)域。
硅納米波導(dǎo)是一種介質(zhì)透明的硅基結(jié)構(gòu)，其具備亞微米級(jí)別的結(jié)構(gòu)大小、較高的折射率、透明度和低損耗等特點(diǎn)，這些特性使得硅納米波導(dǎo)在微納光子學(xué)和光電學(xué)領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用和研究。而倏逝場(chǎng)耦合則是指兩個(gè)波導(dǎo)之間通過其表面振動(dòng)的耦合作用，而形成了新的耦合波導(dǎo)。通過利用倏逝場(chǎng)耦合作用，可以將計(jì)算機(jī)的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)式mems加速度計(jì)。
超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)是一種利用mems技術(shù)制造的加速度傳感器，其利用了光學(xué)元件產(chǎn)生和探測(cè)質(zhì)量及力學(xué)參數(shù)對(duì)光的影響， 將質(zhì)量及力學(xué)參數(shù)轉(zhuǎn)化為容易測(cè)量的光學(xué)信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的測(cè)量。它具有體積小、重量輕、功耗低、精度高等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于導(dǎo)航、航空航天、物流、汽車以及運(yùn)動(dòng)健康等領(lǐng)域。
然而，超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)的制造與應(yīng)用仍然存在一些挑戰(zhàn)。首先，制造過程需要利用微納米加工技術(shù)，制備精細(xì)的硅納米波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；其次，超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)的靈敏度和穩(wěn)定性需要進(jìn)一步提高和優(yōu)化；最后，其在多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用需要進(jìn)一步驗(yàn)證和實(shí)踐。
總之，基于硅納米波導(dǎo)倏逝場(chǎng)耦合的超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)是一種極為有潛力的mems加速度計(jì)技術(shù)，其在精度、靈敏度和穩(wěn)定性等方面具有巨大的發(fā)展空間和前景。未來，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和完善，超緊湊光學(xué)式mems加速度計(jì)將會(huì)得到更加廣泛的應(yīng)用和繁榮發(fā)展。