磁柵按磁性標(biāo)尺的基體形狀的不同可以分為測量直線位移用的實(shí)體型磁柵、帶狀磁柵和線狀磁柵及用于測量角位移的回轉(zhuǎn)型磁柵等,見圖。
實(shí)體型磁柵主要用于精度要求較高的場合,由于其制造長度有限,因此目前應(yīng)用較少。
帶狀磁柵的磁尺固定在用低碳鋼做的屏蔽殼體內(nèi),并以一定的預(yù)緊力繃緊在框架或支架中,框架固定在機(jī)床上,使磁尺與機(jī)床一起伸縮,從而減少溫度對測量精度的影響。帶狀磁尺可以做得較長,一般是1m以上,主要應(yīng)用量程較大,安裝面不易安排的場合。
線狀磁柵的磁尺一般是具有一定直徑的圓棍形狀,磁頭具有特殊的結(jié)構(gòu),是一種多間隙的磁通響應(yīng)型的磁頭,它把磁尺包在中間,對周圍電磁起到了屏蔽的作用,所以具有抗干擾能力強(qiáng)、輸出信號大、精度高等特點(diǎn),但不易做得很長,主要用于小型精密機(jī)床或結(jié)構(gòu)緊湊的測量機(jī)中。
回轉(zhuǎn)型磁柵是一種盤形或鼓形磁柵,磁頭和帶狀磁尺的磁頭相同,主要用于角位移的測量。