注:本文轉(zhuǎn)載自“含氟氣體與環(huán)境問(wèn)題”公眾號(hào)。
hfc-23的消費(fèi)用途主要有四種:(1)生產(chǎn)哈龍1301的原料之一;(2)復(fù)疊低溫制冷系統(tǒng)中的制冷劑;(3)氣體滅火劑;(4)半導(dǎo)體制造業(yè)的等離子體化學(xué)蝕刻劑。
hfc-23主要消費(fèi)用途
哈龍1301生產(chǎn)原料之一
哈龍1301是《蒙特利爾議定書(shū)》管控的消耗臭氧層物質(zhì)之一,中國(guó)已于2008年完成其受控用途生產(chǎn)和消費(fèi)的淘汰,目前仍有少量作為原料用途生產(chǎn)。hcfc-22和無(wú)水氟化氫(ahf),生產(chǎn)得到中間產(chǎn)物hfc-23,再經(jīng)與反應(yīng),最終生成哈龍1301。
復(fù)疊低溫制冷系統(tǒng)中的制冷劑
作為制冷劑,hfc-23一般與其他hfcs按照一定比例混合使用,具有較好的制冷效果,但這種低溫制冷劑在范圍內(nèi)的應(yīng)用并不廣泛。比如要求低溫環(huán)境保持活性的疫苗,hfc-23是一個(gè)不錯(cuò)的制冷劑。
氣體滅火劑
hfc-23是一種采用物理和化學(xué)方式共同參與滅火的潔凈氣體滅火劑;hfc-23具有無(wú)色、微味、低毒、不導(dǎo)電、不污染滅火對(duì)象等優(yōu)點(diǎn)。hfc-23滅火系統(tǒng)主要缺點(diǎn)在于系統(tǒng)工作壓力大,管網(wǎng)造價(jià)較高;滅火劑的灌裝比較困難,hfc-23在滅火過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生有毒氣體氫氟酸(hf),且hfc-23被人體吸入后會(huì)引起頭痛、和嘔吐,有麻醉作用。
蝕刻劑
等離子體刻蝕(plasma etch)也稱(chēng)干刻蝕法,是集成電路制造中的關(guān)鍵工藝之一。等離子體刻蝕是通過(guò)高頻電場(chǎng)將反應(yīng)氣體部分電離成等離子體,然后利用反應(yīng)腔體中的離子和活性基團(tuán)來(lái)進(jìn)行化學(xué)的和物理(離子轟擊)的作用去除被刻蝕材料的過(guò)程。hfc-23可作為等離子體刻蝕工藝中的反應(yīng)氣體。
中國(guó)已知的hfc-23消費(fèi)量較低(年1000噸以下),hcfc-22生產(chǎn)企業(yè)一般將副產(chǎn)的hfc-23回收予以銷(xiāo)毀或提純作為產(chǎn)品。