光譜分析儀的分析原理是將光源輻射出的待測(cè)元素的特征光譜通過(guò)樣品的蒸汽中待測(cè)元素的基態(tài)原子所吸收，由發(fā)射光譜被減弱的程度，進(jìn)而求得樣品中待測(cè)元素的含量。它符合郎珀-比爾定律 a= -lg i/i o= -lgt = kcl 式中i為透射光強(qiáng)度，i0為發(fā)射光強(qiáng)度，t為透射比，l為光通過(guò)原子化器光程由于l是不變值所以a=kc。物理原理任何元素的原子都是由原子核和繞核運(yùn)動(dòng)的電子組成的，原子核外電子按其能量的高低分層分布而形成不同的能級(jí)，因此，一個(gè)原子核可以具有多種能級(jí)狀態(tài)。能量*低的能級(jí)狀態(tài)稱為基態(tài)能級(jí)（e0=0），其余能級(jí)稱為激發(fā)態(tài)能級(jí)，而能*低的激發(fā)態(tài)則稱為**激發(fā)態(tài)。正常情況下，原子處于基態(tài)，核外電子在各自能量*低的軌道上運(yùn)動(dòng)。
如果將一定外界能量如光能提供給該基態(tài)原子，當(dāng)外界光能量e恰好等于該基態(tài)原子中基態(tài)和某一較高能級(jí)之間的能級(jí)差e時(shí)，該原子將吸收這一特征波長(zhǎng)的光，外層電子由基態(tài)躍遷到相應(yīng)的激發(fā)態(tài)，而產(chǎn)生原子吸收光譜。電子躍遷到較高能級(jí)以后處于激發(fā)態(tài)，但激發(fā)態(tài)電子是不穩(wěn)定的，大約經(jīng)過(guò)10^-8秒以后，激發(fā)態(tài)電子將返回基態(tài)或其它較低能級(jí)，并將電子躍遷時(shí)所吸收的能量以光的形式釋放出去，這個(gè)過(guò)程稱原子發(fā)射光譜。可見(jiàn)原子吸收光譜過(guò)程吸收輻射能量，而原子發(fā)射光譜過(guò)程則釋放輻射能量。