日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵技術(shù)資料

發(fā)布時間:2024-08-26
日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵一、產(chǎn)品簡介
cfb-k系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國家新型加工而成,提高了葉齒強度,分子泵高速旋轉(zhuǎn)時可以抵抗瞬時5000pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵二、產(chǎn)品特點
具有高壓強、抽速大的特點,對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵三、主要性能指標
型號
cfb-1200k
訂貨號
3181
3182
進氣口法蘭

lf200
cf200
排氣口法蘭

kf40
抽氣速率
l/s
1200
壓縮比n2/h2

1×109/1×104
極限壓強
pa
5×10-7
8×10-8
電機轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動時間
min
<5
軸承

陶瓷軸承
前極泵
l/s
8-15
振動值
μm
≤0.1
冷卻水溫度

≤25
泵體烘烤溫度

<120
冷卻水流量
l/min
1
泵口耐壓
pa
7000
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向

垂直±5°
重量
kg
~31
四、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線
cfb系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
cfb系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格
cfb-1200k
進氣口法蘭
lf200
cf200
d1
ф240
ф253
d2
ф267
ф267
d3
□167.6
□167.6
l1
142
142
l2
152
152
h1
393
393
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
關(guān)鍵詞:加熱器
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