氦檢漏儀是使用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，完成被檢件的氦泄露量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄露出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在取得氦氣信號值的基礎上，經過規(guī)范漏孔比對的辦法就能夠取得漏孔對氦泄露量，從而進行真空法氦檢漏儀維修。
選用真空法氦檢漏儀維修時，需要使用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產品外外表施氦氣，當被檢產品外表有漏孔時，氦氣就會經過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而完成被檢產品泄露量測量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其間真空噴吹法選用噴槍的方法向被檢產品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準確定位;真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產品總漏率的測量。
真空法氦檢漏儀維修的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能夠準確定位，能完成大容器或復雜結構產品的檢漏。