影響光柵尺測(cè)量精度有如下幾個(gè)方面：
a：光學(xué)部分 b：機(jī)械部分 c：電氣部分 d：使用中的安裝與傳輸接收部分，使用后的精度下降，機(jī)械部分自身的偏差。
a、光學(xué)部分對(duì)精度的影響：
光柵玻璃：主尺精度、每毫米刻線數(shù)、刻線精度、刻線寬度等。
光發(fā)射源：光的平行度、光衰減。
光接收單元：讀取誤差、讀取響應(yīng)。
光學(xué)系統(tǒng)使用后的影響：污染，衰減。
b、機(jī)械部分對(duì)精度的影響：
安裝精度。軸承的精度與結(jié)構(gòu)精度。光學(xué)組建安裝的精度。
例如，就軸承的結(jié)構(gòu)而言，單軸承支撐結(jié)構(gòu)的軸承偏差無(wú)法消除，而且經(jīng)使用后偏差會(huì)更大，而雙軸承結(jié)構(gòu)或多支承結(jié)構(gòu)，可有效降低單個(gè)軸承的偏差。
c、電氣部分對(duì)光柵尺精度的影響：
電源的穩(wěn)定對(duì)光柵尺精度影響：對(duì)光發(fā)射源與接收單元的影響。
讀取響應(yīng)與電氣處理電路帶來(lái)的誤差；
電氣噪音影響，取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的抗干擾能力；
例如，如果電子細(xì)分，也會(huì)帶來(lái)的誤差
d、光柵尺使用中帶來(lái)的精度影響：
輸出電纜的抗干擾與信號(hào)延遲（較長(zhǎng)距離或較快頻率下）；
接收設(shè)備的響應(yīng)與接收設(shè)備內(nèi)部處理可能的誤差。
光柵尺高速位移時(shí)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)偏差。
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