真空等離子清洗機(jī)維護(hù)保養(yǎng)使用要求：
俗話說(shuō)磨刀不誤砍柴工。運(yùn)用好一個(gè)良好的工具往往能夠讓工作事半功倍。當(dāng)然機(jī)器再好也要保養(yǎng)，所以下面就給大家分享一些真空等離子清洗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)事宜。
真空等離子清洗機(jī)維護(hù)保養(yǎng)：
注意：在開(kāi)始使用清洗機(jī)保養(yǎng)或維修前，應(yīng)采取所有的相關(guān)安全防范措施，不于這里提到的內(nèi)容。
一、前提工作：
1、將設(shè)備電源開(kāi)關(guān)關(guān)閉，斷開(kāi)總電源保護(hù)器。
2、關(guān)閉所有氣體。
3、準(zhǔn)備所需工具箱。
二、真空腔體及真空發(fā)生系統(tǒng)的保養(yǎng)：
1、真空腔和電極板是處理工件的工作區(qū)，當(dāng)使用到一定時(shí)間后腔體內(nèi)會(huì)殘留部分污垢，附著在電極板及腔體壁上。處理方法：當(dāng)連續(xù)使用一個(gè)月后，應(yīng)用無(wú)塵布（紙）沾酒精清潔所有電極板及腔體壁，保持腔體清潔。
2、觀察窗是工作人員在工作時(shí)對(duì)腔體內(nèi)放電情況進(jìn)行觀察所用，在使用一段時(shí)間后會(huì)造成觀察窗玻璃的表面微蝕，使其變得模糊不清。處理方法：用無(wú)塵布（紙）沾酒精或丙酮對(duì)玻璃進(jìn)行清潔或直接更換真空玻璃。
3、真空泵內(nèi)所使用油為防氧化專用油，及時(shí)更換有利于真空泵的正常工作，延長(zhǎng)泵體的使用壽命，建議每三個(gè)月更換一次，應(yīng)經(jīng)常注意觀察真空泵內(nèi)油量是否充足，油面計(jì)指示油面若低于使用下限（油面計(jì)旁邊有明確標(biāo)識(shí)），及時(shí)注入新油至正常用油量。
三、更換真空泵油的具體步驟：
1、打開(kāi)真空泵加油口的注油塞（內(nèi)六角扳手）；
2、打開(kāi)放油閥上的放油塞（注意旋鈕開(kāi)關(guān)方向）；
3、將油安全放出，這時(shí)油面計(jì)內(nèi)油面會(huì)下降；
4、將泵內(nèi)油清放干凈后將放油塞擰緊 ；
5、將新油從加油口注入，加入超過(guò)下限適量即可；
6、將注油塞用六角扳手?jǐn)Q緊；
注意：
更換時(shí)請(qǐng)注入純正的專用油；
將真空泵內(nèi)原來(lái)所使用的油放干凈；
工作人員在換油時(shí)需佩戴膠皮手套及口罩；
請(qǐng)將放出的廢油妥善且安全處理；
真空泵排氣口外接油霧過(guò)濾器，油霧過(guò)濾器能去除從真空泵排出的90％以上的油霧，能防止工作環(huán)境的污染，而且還可以起到消音效果。過(guò)濾下來(lái)的油要從回油口排出本體，否則油會(huì)在濾芯與本體之間積聚，這樣會(huì)導(dǎo)致油霧的產(chǎn)生。
1、過(guò)濾器濾芯建議每三個(gè)月更換一次。
2、如遇不排氣情況，檢查濾芯是否堵塞，必要時(shí)需考慮更換濾芯。等離子發(fā)生器為高頻器件，涉及到頻率飄移等問(wèn)題，使用后應(yīng)在2年左右調(diào)校一次，客戶要確定時(shí)間與等離子清洗機(jī)廠家聯(lián)系，返廠進(jìn)行校正和調(diào)整。設(shè)備密封件18個(gè)月左右更換一次，其后也需每隔18個(gè)月更換一次，以確保真空密封的可靠性。
四、真空等離子清洗機(jī)的具體保養(yǎng)事項(xiàng)：
1、定期檢查真空泵油:
每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近低紅線刻度時(shí)，則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時(shí)更換真空油。
2、清洗反應(yīng)腔室:
首先使用脫脂棉布沾無(wú)水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃）真空腔體。其次腔體導(dǎo)入氣體（氬氣+氧氣或氮?dú)?氧氣），用與等離子體反應(yīng)清除腔體內(nèi)的殘余物。處理時(shí)長(zhǎng)在10分鐘左右即可，每月至少要處理一次。
3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性:
定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。定期檢查反應(yīng)腔體門的密封條是否松動(dòng)。檢查各輸氣管道路線是否連接緊固及有無(wú)老化等問(wèn)題。
4、檢查電源連接
電壓是否與設(shè)備匹配,設(shè)備的電壓為220v,也有380v的。