美國(guó)bird 8865sc13精密射頻負(fù)載屬于13.56 mhz 超穩(wěn)定油電介質(zhì)射頻終端 為了獲得最大的工藝重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)地將射頻功率輸送到腔室的關(guān)鍵因素是射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控。bird 現(xiàn)在提供超穩(wěn)定、低 vswr 負(fù)載，與 bird 4020 系列等精密功率傳感器一起使用時(shí)，可以快速、精確地測(cè)量發(fā)電機(jī)功率輸出。8865sc13 不僅提供低 vswr，而且在工藝關(guān)鍵頻率下 vswr 總變化小于 0.1 db。無(wú)需負(fù)載預(yù)熱，也無(wú)需因校準(zhǔn)不同時(shí)間長(zhǎng)度而產(chǎn)生重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以最大限度地減少與校準(zhǔn)相關(guān)的誤差并控制更關(guān)鍵的過(guò)程變量之一。
美國(guó)bird 8865sc13精密射頻負(fù)載產(chǎn)品規(guī)格如下：
產(chǎn)品規(guī)格：
編號(hào)8865sc13
項(xiàng)目名
1 kw、超穩(wěn)定、油電射頻終端負(fù)載
額定功率
1千瓦
頻率范圍和駐波比
dc 至 28 mhz @ 1.1 最大值
駐波比小于1.05:1
阻抗ω
50（標(biāo)稱）
駐波比穩(wěn)定性
< 0.1 db，穩(wěn)定頻率下 0 至 100% 額定功率
穩(wěn)定頻率
13.56兆赫±10赫茲
連接器
“qc”lc 型（母頭）- 通常提供
聯(lián)鎖熱敏開(kāi)關(guān) - 可選
正常情況下關(guān)閉。開(kāi)啟溫度 236 °c (457 °f)
熱敏開(kāi)關(guān)額定值
115 伏交流電，10 安
230 伏交流電，5 安
溫度范圍
工作：+5 至 +40 °c（+41 至 +104 °f）
存儲(chǔ)：– 40 至 +45 °c（– 40 至 +113 °f）
高度
1520 m（5000 英尺）
濕度
最大 95% 非冷凝
冷卻方式
油介電和對(duì)流電流
方面
19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸
496 x 184 x 334 毫米
重量
32 磅。
14.5公斤
結(jié)束
黑色環(huán)氧樹(shù)脂
關(guān)鍵詞：傳感器 發(fā)電機(jī) 進(jìn)口電磁閥 繼電器 流量計(jì)