一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
cfb-n系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了清潔無(wú)油的高真空環(huán)境，產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計(jì)，具有*的耐腐蝕性能，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、*、激光、家電、新材料、汽車(chē)等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。
三、主要性能指標(biāo)
型號(hào)
cfb-600n
進(jìn)氣口法蘭
—
lf160
cf150
排氣口法蘭
—
kf40
抽氣速率
l/s
600
壓縮比n2/h2
—
1×109/8×103
極限壓強(qiáng)
pa
5×10-7
8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動(dòng)時(shí)間
min
＜4.5
使用場(chǎng)合
—
耐腐蝕
振動(dòng)值
μm
≤0.1
前極泵
l/s
4-8
冷卻水溫度
℃
≤20
泵體烘烤溫度
℃
<120
冷卻水流量
l/min
1
加熱器功率
w
<550
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
～29
四、特性曲線(xiàn)及安裝尺寸
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線(xiàn)
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線(xiàn)
cfb-n系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格
cfb-600n
高真空法蘭
lf160
cf150
d1
ф180
ф202
d2
ф236
ф236
d3
□145.7
□145.7
l1
128
128
l2
137
137
h1
395.5
395.5
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
泵腿螺釘孔
4-m8
4-m8