sci-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、ev閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、tapi 452臭氧傳感器、 tapi 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
sci-552基于軟硬件特點(diǎn)，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、modbus串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個(gè)系統(tǒng)。sci-552能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。特點(diǎn)rs-232 modbus遠(yuǎn)程支持
可以控制兩臺(tái)臭氧發(fā)生器
可以控制兩臺(tái)452和470臭氧傳感器
交互
可以控制四臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)
可以控制兩臺(tái)背壓控制器
可以控制兩個(gè)ev閥
可以控制一臺(tái)水冷卻器
系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
遠(yuǎn)程系統(tǒng)級(jí)別控制和狀態(tài)輸入/輸出
運(yùn)用
化學(xué)氣相沉積(cvd)
原子層沉積(ald)
氧化物生長
表面處理
灰化
粒子清潔
光刻膠去除
其他
規(guī)格
顯示：2 行 x 40 字母、數(shù)字、真空熒光分辨率：0.01% w/w周期：不間斷測(cè)量,每2秒或0.5 hz刷新
數(shù)字i/o: rs-232 c, 雙向裝置i/o 發(fā)生器支持:能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器，工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)引出線
質(zhì)量流量計(jì)控制: 4 - db-9 連接體，支持四臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)背壓控制器:2 - db-15 連接體，支持兩臺(tái)電子背壓調(diào)節(jié)器臭氧發(fā)生器: 2 - 10 針idc，支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器ev閥: 2 - 2 針連接體 - 24 vdc冷卻器：1 - db-15 冷卻器連接體客戶系統(tǒng)i/o聯(lián)鎖:1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖
1 - 通訊聯(lián)鎖
(可用戶配置)1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)串行數(shù)字：re-232, db-25 (modbus標(biāo)準(zhǔn) -可選其他選項(xiàng))ac電源: 90到240vac, 50/60 hz
典型功率: 低于225 w尺寸 (寬 x 高 x 長)：19” x 7” x 9”
(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)重量：10.9 磅 (4.94 千克)環(huán)境：只為室內(nèi)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
運(yùn)行溫度：5 - 35?c
相對(duì)濕度：80%, 無冷凝
保修：1 年
認(rèn)證：ce
關(guān)鍵詞：控制器 臭氧發(fā)生器 質(zhì)量流量計(jì) 臭氧傳感器 傳感器