x射線熒光光譜儀(xrf，是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。x射線熒光是用高能量x射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級x射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法醫(yī)學(xué)，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。
xrf用的是物理原理來檢測物質(zhì)的元素，可進(jìn)行定性和定量分析。即通過x射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補給產(chǎn)生特征x射線，根據(jù)元素特征x射線的強度，即可獲得各元素的含量信息。這就是x射線熒光分析的基本原理。它只能測元素而不能測化合物。但由于xrf是表面化學(xué)分析，故測得的樣品必須滿足很多條件才準(zhǔn)，比如表面光滑，成分均勻。如果成分不均勻，只能說明在xrf測量的那個微區(qū)的成分如此，其他的不能表示。
xrf的優(yōu)點如下：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2-5分鐘就可以測完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
5、測試元素范圍大，wdx可在ppm-100%濃度下檢測b5-u92，而edx可在1ppm-100ppm下檢測大多數(shù)元素，na11-u92。此外還可以檢測cu合金中的be含量。
6、可定量分析材料元素組成，分辨率高，探針尺寸為500μm (wdx), 75μm (edx)。