滑閥式真空泵工作原理

發(fā)布時(shí)間:2024-07-15
滑閥式油封機(jī)械泵(簡稱滑閥泵)同旋片泵一樣,也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上?;y泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6pa,對大泵≤1.3pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限壓力≤0.06pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150l/s的滑閥泵多采用單級型式。
由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心,如果滑很好的質(zhì)量平衡,在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線,因此很難實(shí)現(xiàn)對滑閥泵慣性力的*平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡,減少泵的振動(dòng)一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。
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