半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀/電阻率測(cè)試儀/半導(dǎo)體電阻率測(cè)定儀(含探頭和測(cè)試架) 型號(hào):dp-bd-86a
dp-bd-86a型半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是我廠推出的的普及型半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀器,本儀器是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測(cè)量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測(cè)量金屬薄層電阻,經(jīng)過(guò)對(duì)用戶、半導(dǎo)體廠測(cè)試的調(diào)查,根據(jù)美國(guó)astm標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破,它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測(cè)方面對(duì)中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測(cè)量需要,成為普及型的電阻率測(cè)試儀,具有測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1. 測(cè)量范圍:電阻率10-3—103ω-cm,分辯率為 10-4ω-cm ,可擴(kuò)展到105ω-cm
方塊電阻10-2—104ω/□,分辯率為10-3ω/□,可擴(kuò)展到106ω/□
薄層金屬電阻10-4—105ω,分辯率為10-4ω
2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸:直徑φ15—φ125mm; 長(zhǎng)度:150mm(可擴(kuò)展500mm)
3.測(cè)量方式:軸向、斷面均可
4.數(shù)字電壓表:(1)量程:20mv(分辯率:10μv)、200mv、2v
(2)測(cè)量誤差:±0.3%讀數(shù)±1字
(3)輸入阻抗:大于108ω
(4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(led)數(shù)字顯示
0---1999具有極性、過(guò)載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
5.恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能
(1) 直流電流:0—100ma連續(xù)可調(diào)
(2) 量程:10μa、100μa、1ma、10ma、100ma
(3) 分辯率:10na、0.1μa、1μa、10μa、0.1ma
(4) 電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合astm指標(biāo)
7.測(cè)試探頭:(1)探針機(jī)械游移率:± 0.3% 符合astm 指標(biāo)
8.電源:交流220v±10% 50hz或60hz 功率消耗< 30w
9.電氣箱外形尺寸:119×440×320mm